[发明专利]固体摄像元件及固体摄像元件的制造方法

摘要

本发明涉及固体摄像元件及固体摄像元件的制造方法。固体摄像元件具备：半导体基板，具有二维地排列的多个光电变换元件；第一光路层，设置于半导体基板的一面侧；第二光路层，设置于第一光路层的与半导体基板相反侧的面上；遮光层，形成在第一与第二光路层之间；和多个微透镜，二维地配置在第二光路层的与遮光层相反侧的面上，遮光层在与光电变换元件对应的位置形成有开口部，在沿着遮光层的厚度方向且经过开口部的截面中，开口部的沿厚度方向的高度尺寸为b，开口部的沿与厚度方向正交的方向的开口尺寸为a，b/a即纵横比为α，满足a≥3μm且α≥1，开口部中以与其相同的形状形成有光可透射的柱状构造，构成柱状构造的光致抗蚀剂为负性。