[发明专利]一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置在审

专利信息
申请号: 202011561919.X 申请日: 2020-12-25
公开(公告)号: CN112795889A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 施德恺 申请(专利权)人: 浙江智卓工业机器人有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 杭州高盟专利代理事务所(普通合伙) 33402 代理人: 单燕君
地址: 325200 浙江省温州市瑞*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置,包括连接转盘,连接转盘设有两个,两个连接转盘之间固定连接有一号连接杆,两个一号连接杆相对等距开凿设有若干一号插槽,两个连接转盘的外壁之间连接有若干连接板,连接板的上下两端均固定连接有挂板,连接板等距开凿设有若干一号插孔,本固定装置能够根据不同形状的物料选择不同种类的夹具,增加本装置的适用范围,夹持机构设置的双向的推杆,能够对产品的内壁与外壁进行夹持,提高本夹具的适用范围,夹具上的连接块能够相互远离,可根据圆片的大小进行调节,本发明设置有限位杆,通过限位杆插入一号插块内,防止固定装置在转动镀膜过程中夹具被甩出。
搜索关键词: 一种 用于 蒸发 镀膜 工艺 固定 装置
【主权项】:
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