[发明专利]ECO改版改变冗余图形填充方法、终端设备和存储介质在审
| 申请号： | 202011562072.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112598653A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张逸中;于世瑞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T11/40 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ECO改版冗余图形填充方法，包括：从ECO改版前版图数据中，将冗余填充图形和非冗余填充图形分别抽取出来；将提取的非冗余填充图形与ECO改版版图图形进行层与层的差异对比，并在有差异位置生成标定识别层；保留标定识别层外的冗余填充图形，移除标定识别层内的冗余填充图形，形成第一中间版图图形；根据ECO改版版图图形数据，在第一中间图形数据标定识别层范围内重新插入并优化冗余图形，形成第二中间版图图形；将第一中间版图图形和第二中间版图图形合并得到最终ECO改版版图。本发明能够有效地避免ECO造成冗余图形发生位移等问题，缩短了冗余图形的填充周期，同时极大程度的减小了冗余图形对工艺的影响，提高了工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | eco 改版 改变 冗余 图形 填充 方法 终端设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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