[发明专利]一种钛靶材与铝背板的装配方法有效
| 申请号： | 202011563446.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112846651B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供及一种钛靶材与铝背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；(3)对所述铝背板开设散热水道；(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理。所述装配方法使得钛靶材与铝背板的结合率高，个体缺陷率低，冷却水道的设计提高了装配后的靶材的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 背板 装配 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011563446.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种料盘周转装置及上下料设备
- 下一篇：一种含铀地下水零排放处理系统及方法
