[发明专利]一种氧化铈的合成方法及其使用方法在审
| 申请号： | 202011564786.1 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN114671451A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 尹先升;刘同君 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C01F17/235 | 分类号： | C01F17/235;C01F17/10;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种氧化铈的合成方法，包括将铈源水溶液添加至沉淀剂溶液中，生成原料溶液；向原料溶液中通入氮气，并充分搅拌所述原料溶液；过滤所述原料溶液，得到沉淀物；氮气保护下干燥所述沉淀物；氮气保护下焙烧所述沉淀物，得到所述氧化铈。以及将上述氧化铈用于化学机械抛光的使用方法。通过本发明中的方法合成出的氧化铈具有良好的CMP抛光活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 合成 方法 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安集微电子（上海）有限公司，未经安集微电子（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011564786.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种培哚普利氨氯地平双层片及其制备方法
- 下一篇：一种集成水泥混凝土智能井
