[发明专利]一种铝靶材的加工方法有效

专利信息
申请号: 202011566328.1 申请日: 2020-12-25
公开(公告)号: CN112775845B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B24C1/00 分类号: B24C1/00;C23C14/34
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种铝靶材的加工方法,所述加工方法包括:对焊接后的铝靶材以及铝背板加工O型密封圈槽,并对喷砂区域进行喷砂处理。所述加工方法可解决铝靶材O型密封圈槽真空漏气和喷砂异常放电的问题。
搜索关键词: 一种 铝靶材 加工 方法
【主权项】:
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