[发明专利]一种高效异质结太阳能电池及制备方法

摘要

本发明公开了一种高效异质结太阳能电池及制备方法，所述制备方法是在常规异质结太阳能电池制备工序前增加一道吸杂工序，所述吸杂工序通过全链式工艺完成；所述全链式工艺包括：对硅片进行链式涂覆吸杂源；及链式高温吸杂。本发明的制备方法通过降低N型硅片的金属杂质含量，提高了高效异质结太阳能电池的转换效率；所制备的高效异质结太阳能电池的效率分布更集中，大大提高了产品一致性；降低了电池边缘漏电率，提高了电池良率；全链式吸杂工艺缩短了硅片在制程中的流转时间，减少了硅片受污染的概率，在一定程度上也提高了电池的转换效率，而且耗时短，能耗低，自动化程度高，利于产业化推广使用。