[发明专利]太阳能电池表面钝化方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池表面钝化方法，包括以下步骤：步骤S1，提供太阳能电池原始硅片，对原始硅片进行镀膜前的预处理；步骤S2，对硅片正面镀双层氮化硅膜；步骤S3，对硅片背面镀氧化镓膜；步骤S4，对步骤S３中的硅片退火处理，然后在硅片背面镀第二介质膜；步骤S5，对硅片背面激光开窗；步骤S6，对硅片进行丝网印刷金属化处理，获得电池片。本发明采用对硅片表面镀氧化镓膜的方法，氧化镓膜能够钝化硅片表面的悬挂不饱和键，具有良好的场钝化和化学钝化效果，解决氧化铝膜、氮化硅膜等存在吸水问题、无场钝化问题、高耗能等问题。