[发明专利]划片机刀片监测装置及划片机在审
| 申请号： | 202011575955.1 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112606234A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 赵彤宇;孙伟;石云鹏;李晓宁;杨红飞 | 申请（专利权）人： | 郑州光力瑞弘电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/02;B24B27/06;B24B41/00;B24B49/12 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 李天龙 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港区郑港六*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及利用旋转刀具对半导体材料精加工领域。本发明保护一种划片机刀片监测装置及划片机，划片机刀片监测装置包括安装座、光线射出件、受光件；所述安装座上配置有射出件防护腔和受光件防护腔，光线射出件上与受光件相对的光线射出端面处于射出件防护腔内，受光件上与光线射出件相对的受光端面处于受光件防护腔内。通过两防护腔上的进气口向两防护腔内通气，对光线射出端面和受光端面进行防护，使外界的污染物难以进入防护腔内，难以污染受光端面和光线射出端面，由于可以对防护腔持续通气，能够实时对光线射出端面和受光端面进行防护，解决了目前的刀片监测装置需要停机清洗造成的监测结果准确度较低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 划片 刀片 监测 装置 | ||
【主权项】：
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