[发明专利]一种晶片夹具及其清洗方法在审
| 申请号： | 202011576376.9 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112547667A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 黄建友;刘青彦;杨清明 | 申请（专利权）人： | 成都晶宝时频技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12;F26B9/06;F26B5/00 |
| 代理公司： | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶片夹具及清洗方法，包括如下步骤：第一步、硝酸溶液浸泡：将夹具放入浸泡池，倒入硝酸溶液进行浸泡；第二步、去离子水冲洗：将步骤S1中浸泡后的夹具上的硝酸溶液用去离子水冲洗；第三步、银铬剥离液浸泡：将步骤S2中冲洗后的夹具放入新的浸泡池，倒入银铬剥离液进行浸泡；第四步、去离子水冲洗：将步骤S3中浸泡后的夹具上的银铬剥离液冲洗掉；第五步、超声波清洗：步骤S4清洗后的夹具放入超声池内进行超声波清洗；第六步、脱水：将步骤S5中经过超声波清洗后的夹具用无水乙醇进行脱水处理，并进行冲洗300秒；第七步、烘烤：将步骤S6中脱水后的夹具放入80℃±10℃烘箱内烤30到60分钟，完成夹具清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 夹具 及其 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都晶宝时频技术股份有限公司，未经成都晶宝时频技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011576376.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
