[发明专利]一种具有碳化硅涂层的炭炭复合材料坩埚及制备方法有效
申请号: | 202011577306.5 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN112694347B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 朱苏华;沈益顺 | 申请(专利权)人: | 湖南世鑫新材料有限公司 |
主分类号: | C04B41/87 | 分类号: | C04B41/87;C30B15/10;C30B29/06;C04B35/83;C04B35/84 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人: | 钟丹;魏娟 |
地址: | 412007 湖南省株洲市天元区仙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有碳化硅涂层的炭炭复合材料坩埚及制备方法,包括炭炭复合材料坩埚本体以及覆盖于炭炭复合材料坩埚内表面的碳化硅涂层,所述的碳化硅涂层由含硅溶液涂敷于坩埚内表面经高温热处理而制得。具体制备方法为:在炭炭复合材料坩埚本体的内表面进行含硅溶液的涂刷,所得含涂覆层的坩埚于湿度小于50RH%的环境下静置,再进行高温热处理即得具有碳化硅涂层的炭炭复合材料坩埚。本发明通过在坩埚内表面进行含硅溶液涂层处理和高温热处理得到碳化硅涂层,有效地改善了坩埚的表面状态,避免了高温下硅蒸汽、含硅气体及石英坩埚对炭炭复合材料坩埚的反应侵蚀,从而延长了炭炭复合材料坩埚的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 碳化硅 涂层 复合材料 坩埚 制备 方法 | ||
【主权项】:
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