[发明专利]氧化铟锌锡溅镀靶材及其导电膜在审
| 申请号： | 202011577933.9 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114574820A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈胜育;刘砚鸣;谢承谚;简毓苍;黄圣涵 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 史瞳;秦小耕 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： |
一种氧化铟锌锡溅镀靶材，其是由In、Zn、Sn及O所构成的烧结体。该烧结体是由In |
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| 搜索关键词： | 氧化 铟锌锡溅镀靶材 及其 导电 | ||
【主权项】：
暂无信息
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