[发明专利]超光滑双波段反射镜及其制备方法有效
| 申请号： | 202011578607.X | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112684526B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王孝东;陈波;任帅;周鹏;王海峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超光滑双波段反射镜及其制备方法，其中的超光滑双波段反射镜包括基底和镀制在基底上的反射膜，反射膜由金属交替层叠的铂膜与非金属膜构成，金属膜包括铬膜和铂膜，铬膜镀制在基底上，铂膜与非金属膜交替层叠镀制在铬膜上，且铂膜与非金属膜形成的层叠结构中的顶层和底层均为铬膜，铬膜的厚度为1～3nm，每层铂膜的厚度为5～30nm，每层非金属膜的厚度为1～100nm，反射膜的总厚度为100～300nm。本发明能够在保证高频粗糙度与中频粗糙度较低的同时，对成像波段具有较高的反射率，且抗空间环境辐照能力强，空间适应性好，性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 光滑 波段 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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