[发明专利]一种高纯钒靶坯的制备方法及利用其制得的高纯钒靶材在审
| 申请号： | 202011580420.3 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112779508A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18;C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高纯钒靶坯的制备方法及利用其制得的高纯钒靶材，所述制备方法包括：将钒铸锭依次进行锻造、退火、轧制以及再次退火，得到高纯钒靶坯；其中，所述再次退火的温度为450‑550℃。所述制备方法利用锻造、退火、轧制以及再次退火的协同耦合作用，并严格限制再次退火的温度为450‑550℃，制备得到的钒靶坯不仅内部结构均匀，还具有晶粒细小的优点，晶粒尺寸≤50μm，基本可以控制在20‑40μm范围内，而且成品率高达90％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 钒靶坯 制备 方法 利用 钒靶材 | ||
【主权项】：
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