[发明专利]周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法有效
| 申请号： | 202011584097.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112760705B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 任海鹏;周子璇;李洁 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 戴媛 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法，步骤包括：步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型；步骤2、设置针对软轴提拉系统的周期双向脉冲控制器，设计一个周期双向脉冲控制器，在一个旋转周期内等时间间隔对转速施加一个负脉冲和一个正脉冲，正负脉冲交替应用，使得软轴提拉系统的平均转速不变；步骤3、利用BF算法确定周期双向脉冲控制器的控制参数的选择范围。本发明的方法，可以抑制软轴系统在晶体生长中的无序摆动，使摆动处于周期一运动状态；无需状态反馈，控制器设置简单，控制间歇加入，不改变系统平均转速，对晶体生长工艺参数影响小。 | ||
| 搜索关键词： | 周期 双向 脉冲 控制 单晶炉软轴提拉 系统 无序 摆动 方法 | ||
【主权项】：
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