[发明专利]一种集成电路行业废水回用零排放工艺及系统在审
| 申请号： | 202011584683.1 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112592004A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 夏志先;张金山;赵九娟 | 申请（专利权）人： | 上海丰信环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/14 | 分类号： | C02F9/14;C02F101/30;C02F101/20 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 杜蔚琼 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集成电路行业废水回用零排放工艺和系统，其特征在于：废水依次经氧化吸附、二级物化沉淀、超滤、四段膜浓缩、二净化处理和浓液蒸发处理；本发明通过多段浓缩，高低结合的方式实现了回收率可达不低于96％的效果。考虑到设备维护的需要，在采用部分设备进行旁路保养，也就是说1停3用的情况下叶可以实现不低于90％的回收率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 行业 废水 回用零 排放 工艺 系统 | ||
【主权项】：
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