[发明专利]用于晶带轴自动对准的方法和系统在审
| 申请号： | 202011586858.2 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN113125478A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | J·J·弗拉纳根;N·库尔茨;A·蒂尔森;P·帕克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/2055;G01N23/2206;H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于晶带轴自动对准的方法和系统。基于样品的衍射图样实现所述样品的晶带轴与带电粒子束的自动对准。使用训练后的网络分割对应于劳厄圆的区域。通过利用基于所分割区域确定的晶带轴倾斜来倾斜所述样品而使所述样品与所述带电粒子束对准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶带轴 自动 对准 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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