[发明专利]针对重复率相关性能变量的在线校准在审
| 申请号： | 202011588035.3 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN112731770A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | J·J·索内斯;T·亚加瓦尔;K·M·奥布里恩;F·埃弗茨;H·P·戈德弗里德;R·A·布尔德特 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司;ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01S3/00;H01S3/10;G01J11/00;G01J1/42;G01J1/04;G01J1/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 重复 相关 性能 变量 在线 校准 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西默有限公司;ASML荷兰有限公司，未经西默有限公司;ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011588035.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于人工智能的边缘计算方法
- 下一篇：一种铝电解槽数字孪生控制系统
