[发明专利]一种多探针电容位移传感器和表面测量方法

摘要

本发明公开了一种多探针电容位移传感器和表面测量方法，属于精密位移和表面测量相关技术领域。装置包括多探针测头、计量单元和直线直驱电机，多探针测头采用阵列式铰链结构支承阵列式探针，每个探针连接片上的铰链结构的导电膜，与上方的固定板上的导电膜构成电容位移计量单元，结合固定板上的激光干涉计量单元，则可以获得探针的位移。直线直驱电机驱动整个多探针测头，水平位移机构带动被测件进行二维位移，可以实现表面形貌的大量程多探针扫描测量。本发明装置结构简单，操作简单，测量精度和效率高。