[发明专利]一种碳化硅半导体生产用的单晶炉

摘要

本发明公开了一种碳化硅半导体生产用的单晶炉，包括保温密封仓主体、电机和密封盖，所述保温密封仓主体底部的两侧皆安装有支撑脚，且保温密封仓主体一侧的底部连通有进出气管，所述进出气管的外侧安装有阀门。该碳化硅半导体生产用的单晶炉，通过两组活动板分别与正反丝杆的螺纹连接，与装置仓的滑动连接，以及密封盖上设置有第三弹簧和环形密封垫，使得操作人员转动正反丝杆时可以带动两组活动板分别带动其上的挤压限位件与对应的限位槽相互挤压，从而对密封盖和保温密封仓主体进行限位固定的同时使得第三弹簧和环形密封垫被挤压，进而可以方便快捷的完成密封操作，且可以保证该装置在工作时的稳定性。