[发明专利]应用于管式镀膜设备的生产工艺

摘要

本发明提供了一种应用于管式镀膜设备的生产工艺，包括：通过沉积控制装置对基板进行沉积处理，通过清洗控制装置对待清洗载具进行气相清洗处理，以及所述气相清洗处理结束后，通过饱和控制装置对清洗载具进行饱和处理。本发明中通过所述传输装置将所述待清洗载具输送至所述管式清洗腔体后，通过所述清洗控制装置对所述待清洗载具进行气相清洗处理，以得到清洗载具；所述气相清洗处理结束后，通过所述传输装置将所述清洗载具输送至所述管式饱和腔体后，通过所述饱和控制装置对所述清洗载具进行饱和处理，无需拆装所述待清洗载具，从而进一步提高了生产效率。