[发明专利]一种基于微流道的可调式电感及其制造方法有效
| 申请号： | 202011591261.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112750600B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 李君;曹立强;陈钏 | 申请（专利权）人： | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/473 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于微流道的可调式电感，包括通过管道相连通的泵、热交换器以及设置于基板上的微流道。微流道包括相互连通的多个翅片，翅片内部填充有液态金属形成电感，具有选通功能的第一芯片通过第一重布线层电连接至翅片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微流道 调式 电感 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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