[发明专利]一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法有效
| 申请号： | 202011593091.6 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112701023B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 郑辉;周珂;张阳;郑梁;郑鹏 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J1/304 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于场发射冷阴极领域，提供了一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其主要特征是在耐高温透明柔性基底上，基于超薄多孔氧化铝(AAO)模板以及真空物理沉积技术，实现在柔性及透光性良好的基底上的场发射冷阴极材料的制备。该制备方法主要包括4部分，(1)在柔性透明基底上沉积导电透明金膜；(2)在沉积金膜的基底上附着AAO模板；(3)利用真空物理沉积技术制备得spindt型金属阵列；(4)去除AAO模板。本发明的柔性透明场发射冷阴极制备方法简单、成本低、可进行大面积制备，在柔性平板显示器等领域中有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 透明 发射 阴极 制备 方法 | ||
【主权项】：
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