[发明专利]一种靶材和背板的焊接方法在审
| 申请号： | 202011593875.9 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112743216A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;江胜君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/22;B23K20/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材和背板的焊接方法，所述焊接方法包括：将靶材、中间层以及背板进行装配，得到装配组件；所述靶材位于两层中间层之间，两层背板对称设置于所述两层中间层的外侧，并将所述靶材和所述两层中间层包裹；将得到的装配组件依次进行包套焊接、脱气和热等静压，然后将所述装配组件靶材溅射面一侧的背板和中间层剥离，得到靶材组件。本发明所述焊接方法通过焊接结构的设计，有效解决了焊接过程中靶材变形的问题，同时保证焊接结合率和焊接结合强度，具有良好的工业化应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 焊接 方法 | ||
【主权项】：
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