[发明专利]一种用于圆柱靶的测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 202011594035.4 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112731229A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 唐智;徐长亮 | 申请（专利权）人： | 纳峰真空镀膜（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/10 | 分类号： | G01R33/10;G01R33/12;G01B11/27;G01B11/00;G01S17/42 |
| 代理公司： | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于圆柱靶的测量装置，包括：支撑机构，其被配置为能够提供使圆柱靶保持水平的可转动支撑；第一驱动模组，其被配置为能够驱动使所述圆柱靶在所述支撑机构上作轴向转动；第二驱动模组，其被配置为能够携带检测单元作相对于所述圆柱靶的多轴运动，以对所述圆柱靶进行测量。本发明能够快速判断出圆柱靶的外观尺寸及磁场强度是否合格，并能对圆柱靶的磁场强度分布作出准确的立体反映，采集的数据稳定，采集数据多，数据准确，适于推广。本发明还公开了一种用于圆柱靶的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 圆柱 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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