[发明专利]一种异质结太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池，包括：硅层衬底，依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极；以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极；其中，所述第一导电膜层与第二导电膜层工艺采用不同的氧氩比。本发明制备工艺在原有工艺的基础上，对正面和背面的导电膜层采用不同的镀膜工艺，通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池，既不影响其余性能，同时可将电池正面膜层的载流子迁移率提升，从而提升电池片的短路电流，将电池背面膜层的方块电阻降低，从而获得高的填充因子，从而带来效率的提升，具有深远的市场发展前景。