[发明专利]一种光电探测器及其使用方法有效
申请号: | 202011595658.3 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112531066B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 陈代高;肖希;王磊;胡晓;张宇光;余少华 | 申请(专利权)人: | 武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
主分类号: | H01L31/09 | 分类号: | H01L31/09;H01L31/0232 |
代理公司: | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人: | 李斯 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请公开了一种光电探测器及其使用方法,涉及光通信集成器件领域,该光电探测器包括:入射波导用于传播信号光;硅层上设有锗吸收区,锗吸收区用于探测信号光,并将信号光转换为电信号;聚焦型器件用于将入射波导的信号光聚焦至锗吸收区正下方的硅层,信号光经过聚焦型器件到达锗吸收区入射端时汇聚的光束的宽度大于锗吸收区的宽度。该使用方法包括:信号光由入射波导进入聚焦型器件;聚焦型器件将信号光聚焦至锗吸收区正下方的硅层,并使信号光到达锗吸收区入射端时汇聚的光束的宽度大于锗吸收区的宽度;锗吸收区将信号光转换为电信号,本申请,不仅可提高光电探测器的饱和吸收功率,使光电转换时不会出现信号畸变,还可提高器件的响应度。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电 探测器 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的