[发明专利]静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202011597601.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114695047A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 黄国民;郭二飞;赵函一;吴狄;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于等离子体处理装置的静电吸盘，该静电吸盘包括：多个区域，所述多个区域中的第一区域包括朝向所述静电吸盘的中心突出的突出部；第一通气孔，所述第一通气孔设置在所述突出部中。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 电极 组件 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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