[发明专利]一种剥离工作台有效
| 申请号： | 202011599003.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112873137B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 杨志;靳卫国;朱林涛 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;B25H1/14;B25H1/16;H01G13/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张鹏 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种剥离工作台，涉及叠压机技术领域。该剥离工作台包括剥离台、Y向运动机构、水平向调节结构和Z向调节结构；所述剥离台通过所述Z向调节结构设置在所述Y向运动机构的输出端上；所述Y向运动机构固定在外部传输机构上，用于为所述剥离台提供Y向的运动；所述Z向调节结构能够实现Z向的调节；所述水平向调节结构设置在所述Z向调节结构沿X向上的一侧，能够实现X向的调节。本发明解决了陶瓷生膜与薄膜脱离时，由于没有进行X向和Z向的调节，图形容易变形的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 工作台 | ||
【主权项】：
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