[发明专利]一种铝硅合金靶坯的制备方法有效
| 申请号： | 202011599465.5 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112809002B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李岢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/10 | 分类号： | B22F3/10;C22C1/04;C23C14/14;C23C14/34;C22C21/02 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铝硅合金靶坯的制备方法，所述制备方法包括：将铝硅合金粉末放入模具中进行烧结；所述烧结包括依次进行的第一升温、第一保温、第二升温、第二保温、第三升温、第三保温、第四升温、第四保温、第五升温、第五保温和保温保压；所述第一保温的温度为100‑120℃；所述第二保温的温度为200‑230℃；所述第三保温的温度为300‑320℃；所述第四保温的温度为380‑410℃；所述第五保温的温度为450‑470℃。本发明提供的制备方法，通过采用特定的烧结工艺，利用升温和保温的交替处理，可制备得到致密度≥98％，无缺陷且微观结构均匀的靶坯，生产的铝硅靶材有优异的溅射使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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