[发明专利]一种改良相变材料的方法在审
申请号: | 202011601376.X | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112736197A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 梅霆;高琨;张文定;田森茂;郭亚轩 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人: | 陈变花 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种改良相变材料的方法,包括以下步骤:(1)清洗衬底:准备衬底并依次置于丙酮、乙醇以及超纯水中进行超声清洗,去除杂质;(2)沉积相变材料:准备相变材料,利用沉积法沉积相变材料薄膜在清洗后的衬底上;(3)沉积介质薄膜:在相变材料表面沉积介质薄膜。本发明的方法可以保护相变材料免于外部机械作用;保护相变材料在相变过程避免发生形变,方法简单,成本低廉;可以保护相变材料免于外界空气的影响,防止在长期工作时外界大气与相变材料发生化学反应;保护层可以有效改善晶态化时相变材料的结晶状态,提高相变材料的性能和使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 改良 相变 材料 方法 | ||
【主权项】:
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