[发明专利]一种改良相变材料的方法在审

专利信息
申请号: 202011601376.X 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112736197A 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 梅霆;高琨;张文定;田森茂;郭亚轩 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 代理人: 陈变花
地址: 710072 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种改良相变材料的方法,包括以下步骤:(1)清洗衬底:准备衬底并依次置于丙酮、乙醇以及超纯水中进行超声清洗,去除杂质;(2)沉积相变材料:准备相变材料,利用沉积法沉积相变材料薄膜在清洗后的衬底上;(3)沉积介质薄膜:在相变材料表面沉积介质薄膜。本发明的方法可以保护相变材料免于外部机械作用;保护相变材料在相变过程避免发生形变,方法简单,成本低廉;可以保护相变材料免于外界空气的影响,防止在长期工作时外界大气与相变材料发生化学反应;保护层可以有效改善晶态化时相变材料的结晶状态,提高相变材料的性能和使用寿命。
搜索关键词: 一种 改良 相变 材料 方法
【主权项】:
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