[发明专利]一种高精度电容薄膜真空计在审
| 申请号： | 202011604898.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112834110A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 侯少毅;胡琅;胡强;徐平;何斌;黎天韵;郭远军;卫红;黄丽玲 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;黄家豪 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高精度电容薄膜真空计，包括:壳体,具有一容置腔;两个感应膜片，平行地设置在所述容置腔中，并把所述容置腔分隔为参考真空室和两个待测腔室，且两个所述待测腔室分别位于所述参考真空室的两侧；两个所述待测腔室之间连通，且均与所述参考真空室隔离；连接管，与其中一个待测腔室连通；固定基板，设在所述参考真空室中并与两个所述感应膜片平行；固定基板的两侧分别设置有导电膜，所述固定基板两侧的导电膜分别与相邻的感应膜片组成电容器；该电容薄膜真空计的测量精度和灵敏度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 电容 薄膜 真空计 | ||
【主权项】：
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