[发明专利]一种阳极氧化和磷酸扩孔交替进行制备锥形AAO的方法在审

专利信息
申请号: 202011604972.3 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112813476A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 郑辉;胡东平;张阳;郑鹏;郑梁 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: C25D11/04 分类号: C25D11/04;C25D11/16;C25D11/24
代理公司: 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 代理人: 陈巍
地址: 310018 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种多步骤交替进行制备锥形AAO的方法,首先将封装好的铝片在磷酸体系下一次阳极氧化并在铬酸和磷酸混合液下除去一次氧化层后,然后将铝片阳极氧化,并在磷酸溶液中扩孔,重复以上阳极氧化和磷酸扩孔的步骤。利用这种方法,制备了表面孔直径375nm,底部孔直径100nm,孔深度1.5μm和3μm的锥形AAO模板。通过控制氧化时间、扩孔时间和氧化次数来调节锥形AAO的孔深度、表面底部孔直径大小和孔直径变化平滑度。本发明制备的锥形AAO有序度高,参数可控,且无需物理压印,制备成本低。不仅为研究阵列结构的磁性纳米线之间的静磁相互作用开辟了领域,利用其锥形结构特征,在光电材料的制备中也有潜在应用。
搜索关键词: 一种 阳极 氧化 磷酸 扩孔 交替 进行 制备 锥形 aao 方法
【主权项】:
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