[发明专利]光微影设备在审
| 申请号： | 202011606020.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113126446A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 林震洋;于大卫;王立行;林冠文;陈嘉仁;李信昌 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/82 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭示案揭示了一种光微影设备，包括可选择性地自处理设备延伸的粒子移除匣。粒子移除匣包括风力叶片狭缝及排气狭缝。风力叶片狭缝用以将经加压清洗材料指引至光罩的表面，以自光罩的表面移除碎屑粒子。排气狭缝经由排气线路收集与光罩的表面分开的碎屑粒子及污染物。在一些实施例中，风力叶片狭缝包括在风力叶片狭缝内间隔开的阵列的风力叶片喷嘴。在一些实施例中，排气狭缝包括在排气狭缝内间隔开的阵列的排气线路。 | ||
| 搜索关键词： | 光微影 设备 | ||
【主权项】：
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