[发明专利]感光性树脂组合物、聚酰亚胺的制造方法及半导体装置在审
| 申请号： | 202011606262.4 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN112799281A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 赖末友裕;井户義人;井上泰平;松田治美 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;G03F7/037;G03F7/038;C08G73/10;H01L23/488;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种感光性树脂组合物、聚酰亚胺的制造方法及半导体装置。本发明能够提供能得到高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴的、密合性高的聚酰亚胺层的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的聚酰亚胺。以及提供在高温保存试验后、在Cu层与聚酰亚胺层接触的界面不易产生空穴、高温保存试验后的短路、断路不易产生的半导体装置。一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有作为感光性聚酰亚胺前体的(A)成分和包含通式(B1)所示结构的(B)成分。(式(B1)中，Z为硫或氧原子，另外R |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 聚酰亚胺 制造 方法 半导体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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