[发明专利]一种真空蒸发镀膜设备的送丝装置及镀膜工艺在审
| 申请号： | 202011606756.2 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112746244A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 苏一凡;王磊;汪唯;许伟;黄淑琪;林松盛;代明江 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空蒸发镀膜设备的送丝装置及镀膜工艺，包括多个丝材滚轮、真空室和设在真空室内的多个蒸发舟；真空室内转动设有主动轴，所述真空室的外部设有驱动机构，所述驱动机构与所述主动轴连接；主动轴上并排安装有多个齿轮机构，多个齿轮机构与多个蒸发舟以及多个丝线滚轮一一对应，各所述齿轮机构均包括设置于所述主动轴上的主动轮和与所述主动轮啮合的从动轮，丝材自所述丝材滚轮延伸穿过所述主动轮与从动轮之间，使所述驱动机构驱动各所述齿轮机构转动以将所述丝材传输至相对应的蒸发舟上；位于所述主动轴两端的主动轮的直径大于位于所述主动轴中间的主动轮的直径。本发明的真空蒸发镀膜设备的可以实现较大面积的均匀镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸发 镀膜 设备 装置 工艺 | ||
【主权项】：
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