[发明专利]一种基于等离子体增强辅助技术制备TOPCon电池的设备及工艺

摘要

本发明提供基于等离子体增强辅助技术制备TOPCon电池的设备及工艺，包括炉门与炉体，所述炉门的右侧安装有第一法兰，且第一法兰的右侧设置有第一固定板，该第一固定板的上端开设有第一冷却水出口，所述炉体的内部填充有石英管，且该炉体的左下角分别开设有进气口与第二冷却水进口，所述炉体的右上角安装有第二固定板，且该第二固定板的右端安装有第二法兰，该基于等离子体增强辅助技术制备TOPCon电池的设备及工艺，通过等离子体增强辅助技术(PE)的辅助大大加快了SiO2，Poly层的沉积速度，缩短了工艺时间，通过匹配合适的射频电源频率，避免了在制备Poly层时等离子击穿SiO2层的问题。