[发明专利]一种浸液供给回收系统及其控制方法在审
申请号: | 202011609672.4 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112666799A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 贾森波;闫超亚;陈文昱;付婧媛;付新 | 申请(专利权)人: | 浙江启尔机电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 朱亚冠 |
地址: | 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种浸液供给回收系统及其控制方法。本发明在控制器中设置动作设置模块和参数设置模块,动作设置模块根据动作配置文件设置对流控器件的操作方法,参数设置模块根据参数配置文件设置流控器件的操作参数范围;控制器根据受控流控部件的状态,结合动作设置模块和参数设置模块的设置进行逻辑和数值运算,生成控制信号并向控制对象发送以控制其工作行为。只需要对动作配置文件和参数配置文件进行编写和修改,即可控制浸液供给回收系统的使用方法,使控制器的控制程序的编写逻辑和过程显著简化;对控制程序中涉及使用过程的控制变量进行统一的操作和管理,降低了编写和修改控制程序中出错的风险,提高了控制器的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 浸液 供给 回收 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】:
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