[发明专利]一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置

摘要

本发明提供一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置，制备方法包括如下步骤：沿柔性衬底外轮廓方向对其进行均匀拉伸；所述柔性衬底拉伸到位后，在所述柔性衬底的拉伸状态下，将敏感单元材料呈阵列式涂覆到柔性衬底的表面；待所述柔性衬底上的敏感单元材料固化后，释放柔性衬底使其回缩至初始尺寸。此制备方法,通过沿柔性衬底外轮廓方向对其进行均匀拉伸，使柔性衬底沿其外轮廓方向向外均匀变形，其回缩后四周回缩均匀，涂覆在其表面上的敏感单元跟随其回缩，敏感单元回缩均匀，敏感单元各个方向应变均匀，回缩后敏感单元不会产生裂纹或褶皱。