[发明专利]一种双台面激光直写曝光机的对位方法有效
| 申请号： | 202011616080.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112731772B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 汪孝军;梅文辉;王建新;李贵鸿 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人： | 唐飚 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双台面激光直写曝光机的对位方法，本方法改变了视觉标定点的设置位置，使视觉标定点能够沿X方向移动，从而在标定视觉单元的位置时，视觉单元不用移动，而且标定后也视觉单元不用移动到能够看到mark点的范围进行对位，降低了运动的累计误差，提高了对位的精度；因为视觉单元的位置标定时是通过视觉标定点移动实现的，而曝光引擎的移动精度本身就很高，因而视觉单元的移动机构不再需要很高的精度，降低了视觉单元控制的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 台面 激光 曝光 对位 方法 | ||
【主权项】：
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