[发明专利]一种PVD连续镀膜设备及镀膜方法在审
| 申请号： | 202011617501.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112626485A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 邵海平;刘莉云;曹英朝 | 申请（专利权）人： | 广东谛思纳为新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 蒋学超 |
| 地址： | 523846 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种PVD连续镀膜设备及镀膜方法，包括依次设置的装载腔、第一过渡腔、镀膜腔组、第二过渡腔、卸载腔和输送组件，装载腔的入口、装载腔与第一过渡腔之间、第一过渡腔与镀膜腔组之间、镀膜腔组与第二过渡腔之间，第二过渡腔与卸载腔之间以及卸载腔的出口均设有真空隔离阀，各腔室均设有对应的真空泵组，装载腔和卸载腔均设有泄气阀。本发明的有益效果在于：提供了一种具备多级真空腔结构的镀膜设备，可以大大缩短抽气/放气的时间，产品由设备的一端持续进入，从设备的另一端持续输出，实现了不间断生产，产能高，产品工艺一致性好，且产品的装卸均采用机械手，节约了人力成本，有效提高了工厂的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 连续 镀膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
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