[发明专利]一种扩散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制备方法有效
| 申请号： | 202011617741.6 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113278932B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 曹晓萌;丁照崇;李勇军;贾倩;李利利;曲鹏;杜文路;陈明;熊晓东;庞欣 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D19/00;C23C14/16;C23C14/06;C23C18/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种扩散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制备方法。本发明公开的扩散焊接型AlSc合金靶材的制备方法，采用熔炼工艺成型，将配比好的合金熔液直接浇注在焊接面有燕尾槽并加镀层的背板上，另外一面通冷却水冷却，通过背板燕尾槽的结构设计，实现靶材近尺寸成型及与背板扩散焊接一体成型，最终AlSc合金靶材的焊合率≥99％，焊接强度≥10MPa。通过浇注一次成型扩散焊接靶材，减少繁琐的靶面成型及热等静压扩散焊接，大大降低成本，并利用背板焊接面加镀层，防止焊接面生成脆性相，得到焊接强度满足使用要求的产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 焊接 alsc 合金 一次 成型 制备 方法 | ||
【主权项】：
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