[发明专利]一种芯片封装的封装方法在审
申请号: | 202011617859.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112614787A | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 谭小春 | 申请(专利权)人: | 合肥矽迈微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/31;H01L21/56 |
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地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供的一种芯片封装的封装方法,在晶圆上对芯片上的寄生电容进行一次Bump,形成第一金属凸点,在第一金属凸点的上进行二次Bump,形成第二金属凸点,第一金属凸点和第二金属凸点之间具有环形的凹陷,将带有第一金属凸点和第二金属凸点的芯片进行后续的常规芯片封装操作流程。通过一次Bump与二次Bump形成第一金属凸点和第二金属凸点,第一金属凸点和第二金属凸点之间具有环形的凹陷,在塑封时能够与塑封体很好的结合,环形的凹陷能够卡扣住塑封体,且增大了与塑封体之间的接触面积,增加了粘结度,在研磨工艺时,不易使第一金属凸点和第二金属凸点与塑封体之间脱离,也降低了第一金属凸点与寄生电容之间脱离的概率,提高芯片的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造