[发明专利]光程差形成装置及基于FTIR技术的气体分析仪在审
申请号: | 202011617958.7 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112834461A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 于志伟;张建清;张涵;方得安;唐怀武;陶波 | 申请(专利权)人: | 杭州春来科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/55 | 分类号: | G01N21/55;G01N21/01 |
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地址: | 310053 浙江省杭州市滨*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了光程差形成装置和气体分析仪,光程差形成装置包括光源和透反镜,光源发出的检测光在所述透反镜上分束为第一反射光和第一透射光;第一反射器件具有第一组反射面,第一反射光依次经过第一组反射面和第一反射镜的反射后,原路返回到透反镜并透射,形成第二透射光;第二反射器件具有第二组反射面,第一透射光依次经过第二组反射面和第二反射镜的反射后,原路返回到透反镜并反射,形成第二反射光,第二反射光和第二透射光合束;驱动单元用于驱动第一反射器件和第二反射器件,使得第一反射器件相对第一反射镜接近和远离地平移,所述第二反射器件相对第二反射镜接近和远离地平移。本发明具有光程差大、移动精度高、无震动等优点。 | ||
搜索关键词: | 光程 形成 装置 基于 ftir 技术 气体 分析 | ||
【主权项】:
暂无信息
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