[发明专利]无应力碳化硅籽晶固定装置、坩埚及碳化硅籽晶固定方法在审
| 申请号： | 202011619910.X | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114686984A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 胡小波;徐南;张木青;杨祥龙;于国建;陈秀芳;王垚浩;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 广州南砂晶圆半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种无应力碳化硅籽晶固定装置、坩埚及碳化硅籽晶固定方法，该碳化硅籽晶固定装置包括籽晶托和籽晶盖。籽晶托为中部掏空的环形结构，并且沿其中轴线方向依次包括籽晶支撑部、籽晶容纳部、籽晶盖容纳部。同时，籽晶支撑部的内周形状与籽晶的外周形状相同，籽晶支撑部的内径小于籽晶的外径，籽晶容纳部的内径大于籽晶的外径，籽晶容纳部的高度大于籽晶的厚度。利用上述结构和尺寸设计，将籽晶装入籽晶托，并将籽晶盖装入籽晶托后，仅籽晶的边缘依靠自身的重力与籽晶支撑部相接触，进而在单晶生长过程中，籽晶与籽晶固定装置之间不存在热膨胀系数不匹配导致的应力问题，可以消除籽晶受到的外加机械应力，有利于高质量SiC单晶生长。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 碳化硅 籽晶 固定 装置 坩埚 方法 | ||
【主权项】：
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