[发明专利]一种改善接触钝化太阳能电池金属接触的复合膜结构的制备方法

摘要

本申请公开一种改善接触钝化太阳能电池金属接触的复合膜结构的制备方法，对硅片进行清洗和碱制绒，在硅片正面制备发射极，边缘刻蚀，采用热氧化方式，采用LPCVD方式在电池背面沉积原位掺磷非晶硅薄膜，采用湿化学的方式将LPCVD产生的绕镀非晶硅刻蚀干净，对电池片进行退火，形成掺磷多晶硅薄膜，正面通过管式2合一设备沉积氧化铝钝化层与氮化硅减反射膜，背面通过PECVD设备沉积氮化硅减反射膜，采用无损开孔激光在氮化硅减反射膜上进行图形化无损激光开孔，采用ALD在电池片背面沉积一层二氧化钛薄膜，采用ALD在电池片背面沉积一层氟化镁薄膜，在电池片背面印刷铝浆形成背面铝电极。