[发明专利]MEMS宽频带超声波换能器阵列有效
| 申请号： | 202011621958.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112845002B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;贾利成;石磊;孙成亮 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 郑勤振 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS超声波换能器阵列，包括一个或多个相同的换能器单元(10)，每个换能器单元(10)包括若干个具有不同调频结构(108)的换能器，所述换能器之间的间距小于或者等于半个波长，调频结构(108)设置在换能器顶电极层或底电极层上，且位于换能器零应变轴线(109)内侧或外侧。本发明换能器阵列利用由若干个具有不同调频结构(108)的换能器按照一定间距周期性排列来增加换能器阵列的带宽。 | ||
| 搜索关键词： | mems 宽频 超声波 换能器 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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