[发明专利]图案化电极及其制备方法和应用有效
申请号: | 202011622339.7 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112816535B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 朱永刚;陈华英;陈超湛;冉斌;刘波;吕传文 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学(深圳) |
主分类号: | G01N27/327 | 分类号: | G01N27/327;B81C1/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 刘方 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种图案化电极及其制备方法和应用,该方法包括以下步骤:取芯片,芯片包括导电基板、光刻胶和第二基板,第二基板靠近光刻胶的一侧表面上设置有图案化流道,图案化流道包括第一流道,第一流道具有第一开口和第二开口,在第一流道上形成第二流道,第一流道与第二流道形成连通的闭环通道,闭环通道内设置有第三流道,第三流道的一端开口设置于闭环通道内,第三流道的另一端连通闭环通道;从第一开口或第二开口注入不透光液体,光照使得光刻胶固化,去除未固化的光刻胶;关闭第三流道的一端开口,从第一开口或第二开口注入腐蚀液,然后清洗掉腐蚀液。本发明能够利用空气表面张力保护实现任意形状电极的制备,可以用于电化学分析领域。 | ||
搜索关键词: | 图案 电极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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