[发明专利]一种电子束曝光机、调焦方法及装置在审
| 申请号： | 202011623770.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112731773A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 贺晓彬;李亭亭;唐波;刘金彪;李俊峰;杨涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束曝光机、调焦方法及装置，通过增设光学聚焦测试装置，将探测光照射到所述待曝光样品的当前曝光单元内，并采集所述当前曝光单元对应的反射光图像，然后基于当前曝光单元对应的反射光图像，得到当前曝光单元的位置信息，进而根据该位置信息调整当前曝光单元电子束曝光的焦点位置。这样能够有效地提高电子束曝光机的调焦准确性，有利于减小束斑尺寸，提高电子束曝光的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 曝光 调焦 方法 装置 | ||
【主权项】：
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