[发明专利]单晶体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 202011626881.X | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113497593B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞;牛鹏飞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/15;H03H9/17;H03H9/46;H03H9/48;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和单晶压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构，压电层与基底大体平行布置；底电极的非电极连接端埋设在支撑层中，埋设在支撑层中的底电极在平行于谐振器的厚度方向的上下方向上分别与压电层与支撑层面接触。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶体 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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